ASML与蔡司预计下一代芯片制造设备约10年内问世

ASML及其光学合作伙伴蔡司在一篇论文中表示，名为“Hyper NA”的新一代芯片制造设备预计将在约10年内问世。目前ASML已开始研发该设备，但尚未承诺投入生产。 该设备作为ASML最先进芯片制造设备的继任者，将在大量复用现有技术的同时，实现更精细的电路图案化。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。