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中微公司在湾芯展推介两款刻蚀与ALD设备新品

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AI 综述

中微公司10月14日在2026湾芯展推介两款半导体微观加工设备新品:Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™ AM 12英寸ALD钼设备。 中微公司称,五年内将开发出二十多种新的高端薄膜设备,面向7纳米到3纳米及更先进逻辑器件、300层到500层以上及更先进存储器件的需求。

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10月14日
  1. 新浪财经7x24直播
    中微公司在2026湾芯展推介两款高端半导体微观加工设备新品

    10月14日,中微公司在2026湾芯展推介两款新品:Primo XD-RIE™极高深宽比刻蚀设备与Prefima Unicore™ AM 12英寸ALD钼设备。据介绍,中微公司五年内将开发出二十多种新的高端薄膜设备,助力7纳米到3纳米以及更先进的逻辑器件和300层到500层以上及更先进的存储器件需求。

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