微导纳米将发布PVD新品，补齐三大薄膜沉积路线

微导纳米（688147）将于展会期间发布iMagtron PVD系列两款新品，并推出基于iTomic MeT设备的Ru ALD新工艺，公司称该工艺攻克钌薄膜超薄连续成膜难题。此次新品亮相标志微导纳米补齐PVD板块，完成ALD、CVD、PVD三大薄膜沉积路线的产品布局。

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还没有足够的连续观测数据，暂不绘制趋势。