拓荆科技发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon

拓荆科技在2026湾芯展开幕式上发布非晶碳薄膜沉积技术Flowable Carbon，目前已应用于NF-300M Supra-H设备。该技术通过对前驱体和工艺条件的控制，稳定实现Capi-Carbon和Sedi-Carbon两种填充性能不同的可流动碳膜工艺。拓荆科技已围绕上述技术与3D-NAND、DRAM及逻辑芯片制造企业展开合作，拓展碳膜技术的应用场景。