中微公司丛海：近3到5年将累计开发102个新设备，研发总投资近130亿元

中微公司资深副总裁丛海在2026湾芯展开幕式暨半导体产业发展峰会上表示，公司现有54种高端设备产品系列，研发周期从3-5年缩短至2年以内，每年开发20多种新设备。他透露，中微在近3到5年将累计开发102个新设备，研发总投资近130亿元，涵盖集成电路前道高端设备、后道先进封装设备及泛半导体领域设备；在今后五到十年，中微和合作伙伴将覆盖60%的集成电路高端设备市场。