微导纳米拟定增募资不超49.44亿元，投向半导体设备产业化及薄膜沉积研发

微导纳米披露定增预案，拟发行不超过1.39亿股，募集资金总额不超过49.44亿元。扣除发行费用后的净额拟投向无锡先进半导体设备产业化升级迭代项目、华中先进半导体设备产业化项目、尖端薄膜沉积技术研发中心项目及补充流动资金。公司称本次发行将完善先进薄膜沉积设备研发验证与生产制造条件，提升多品类产品并行生产、规模化交付及订单承接能力。